镀层厚度是衡量电镀层品质的重要指标之一。它直接影响镀件的耐蚀性、装配性导电性以至产品的可靠性。测定方法分无损法和破坏法。 前者包括重量法、磁性法、涡流法、R射线反射法、x 射线荧光法、机械量具法等;后者包括溶解法、液流法、点滴法、库仑法、 金相显微镜法、轮廓仪法、干涉显微镜法等。
1. 金相法:
采用金相显微镜检测横断面,以测量金属覆盖层、氧化膜层的局部厚度的方法。一般厚度检测需要大于1um,
才能保证测量结果在误差范围之内;厚度越大,误差越小。
2. 库仑法:
适合测量单层和多层金属覆盖层厚度阳极溶解库仑法,包括测量多层体系,如Cu/Ni/Cr以及合金覆盖层和合金化扩散层的厚度。不仅可以测量平面试样的覆盖层厚度,还可以测量圆柱形和线材的覆盖层厚度,尤其适合测量多层镍镀层的金属及其电位差。测量镀层的种类为Au、Ag、Zn
、Cu、Ni、dNi、Cr。
3. X-ray 方法:
适用于测定电镀及电子线路板等行业需要分析的金属覆盖层厚度。 包括:金(Au),银(Ag),锡(Sn),铜(Cu),镍(Ni),铬(Cr)等金属元素厚度。本测量方法可同时测量三层覆盖层体系,或同时测量三层组分的厚度和成分。
GBT 6462-2005 金属和氧化物覆盖层 厚度测量显微镜法
ASTM B487-85(2013)用横断面显微观察法测定金属及氧化层厚度的标准试验方法
ISO 1463-2003金属和氧化物覆盖层.覆盖层厚度的测定.显微镜法
BS EN ISO 1463-2004 金属和氧化物镀层.镀层厚度的测定.显微镜法
JIS H8501-1999 金属覆层厚度试验方法
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标签: 镀层厚度检测
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